法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-24
授权
授权
2016-08-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/08 申请日:20160303
实质审查的生效
2016-07-06
公开
公开
机译: 铁电薄膜,具有压电薄膜的基板,压电致动器,喷墨头,喷墨打印机以及铁电薄膜的制造方法
机译: 具有双层铁电薄膜的电极结构,其制造方法和铁电薄膜存储器
机译: 功能器件的制造方法,铁电材料层的制造方法,场效应晶体管,薄膜晶体管,场效应晶体管和压电喷墨头的制造方法