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一种电晕法制备低方阻石墨烯薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种电晕法制备低方阻石墨烯薄膜的方法,包括如下步骤:1)对目标基底进行电晕处理;2)将胶膜与生长有石墨烯的金属衬底的石墨烯一面贴合在一起,得到胶膜/石墨烯/金属衬底的结构;3)去除金属衬底,得到胶膜/石墨烯的结构;4)将胶膜/石墨烯其中石墨烯的一面与电晕处理过的目标基底贴合在一起;5)去除胶膜,得到石墨烯/目标基底的结构,即本发明石墨烯薄膜。本发明方法,可以在目标基底上获得较大面积的石墨烯,可得到300mm×200mm的面积,并且单层石墨烯膜方阻较低(≤150Ω/□),与直接转移到未经过处理的目标基底上的方法相比,对目标基底进行预处理后单层石墨烯薄膜的方阻可以大幅度降低。

著录项

  • 公开/公告号CN106166864B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-07-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 无锡格菲电子薄膜科技有限公司;

    申请/专利号CN201610463375.0

  • 发明设计人 王小蓓;王炜;谭化兵;

    申请日2016-06-23

  • 分类号B32B9/00(20060101);B32B27/06(20060101);B32B27/28(20060101);B32B27/30(20060101);B32B27/32(20060101);B32B27/36(20060101);B32B37/00(20060101);B32B38/18(20060101);

  • 代理机构11522 北京煦润律师事务所;

  • 代理人艾娟

  • 地址 214174 江苏省无锡市无锡惠山经济开发区长安工业园标准厂房中惠路518-5号

  • 入库时间 2022-08-23 10:13:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-05

    专利权的转移 IPC(主分类):B32B9/00 登记生效日:20190315 变更前: 变更后:

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-07-03

    授权

    授权

  • 2016-12-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):B32B9/00 申请日:20160623

    实质审查的生效

  • 2016-11-30

    公开

    公开

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