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一种利用纳米互连制备金属纳米线的方法及其应用

摘要

本发明公开一种利用纳米互连制备金属纳米线的方法,包括:a)制备金属纳米颗粒旋涂溶液;b)将所述金属纳米颗粒旋涂溶液旋涂于导电材料表面,形成旋涂层;c)在第一条件下,在所述导电材料表面用电子束聚焦在所述旋涂层上,所述金属纳米颗粒随所述电子束的运动轨迹形成金属纳米线。本发明满足纳米装置制造的要求,实现每个纳米节点之间可控地、低温地焊接与互连,并且在高分辨率(1.5nm)的扫描电子显微镜下可以精确的对某个纳米点进行焊接与互连。

著录项

  • 公开/公告号CN105798447B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-06-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州大学;

    申请/专利号CN201610224485.1

  • 发明设计人 孙立宁;陈之超;杨湛;陈涛;

    申请日2016-04-12

  • 分类号

  • 代理机构南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人王锋

  • 地址 215123 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号

  • 入库时间 2022-08-23 10:13:15

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-29

    授权

    授权

  • 2016-08-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):B23K15/00 申请日:20160412

    实质审查的生效

  • 2016-07-27

    公开

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