一种电子束高精度高频偏转扫描装置

摘要

一种电子束高精度高频偏转扫描装置，包括数字信号处理即DSP控制电路、功率放大器PA93，偏转扫描线圈等；DSP控制电路通过高速高精度D/A转换电路产生两路电压信号，再经信号隔离电路后分别作为X轴和Y轴方向偏转扫描线圈的扫描电流波形给定；同时，分别采集X轴和Y轴方向的线圈电流，作为扫描电流波形反馈；然后，扫描电流给定和反馈信号再分别输入X轴和Y轴方向的外环PID调节电路和内环功率放大器PA93，放大后的信号驱动偏转扫描线圈产生电磁场使电子束偏转扫描。本发明不仅提高了电子束偏转扫描的控制精度,而且实现了线圈驱动电流高频变化，从而提高了偏转扫描速度,实现了电子束的高速、高精度、大范围偏转扫描。