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有放射线敏感性的折射率变化性组合物,及其光学制品

摘要

一种含有(A)分解性化合物、(B)折射率比分解性化合物(A)低的非分解性化合物、(C)感放射线分解剂及(D)稳定化剂的有放射线敏感性的折射率变化性组合物。通过使图案掩模介于中间,对该组合物照射放射线,使得放射线照射部分的上述(C)成分和(A)成分分解,在放射线照射部分与放射线未照射部分之间产生折射率之差,形成折射率不同的图案。

著录项

  • 公开/公告号CN1273869C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2006-09-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 捷时雅株式会社;

    申请/专利号CN01802620.6

  • 申请日2001-08-24

  • 分类号G03F7/039(20060101);G03F7/26(20060101);G02B3/00(20060101);G02B5/18(20060101);G02B6/12(20060101);G03H1/02(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人魏金玺;杨丽琴

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2008-03-19

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 变更前: 变更后: 申请日:20010824

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2006-09-06

    授权

    授权

  • 2003-03-26

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2003-01-01

    公开

    公开

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