低阈值直交流可分的微电子机械开关及其制造方法

摘要

低阈值直交流可分的微电子机械开关及其制造方法是通过两个驱动电极的设计，实现一种低阈值电压直交流可分的MEMS开关的结构设计，其制造方法为：a.准备基片：用浓HCL和氨水清洗砷化镓衬底；b.在准备的衬底上淀积并光刻共面波导、以及直流驱动电极，生成开关的共面波导、以及直流驱动电极的结构；c.生长介质保护层：用PECVD工艺生长SiN绝缘层；d.淀积并光刻牺牲层：在GaAs衬底上涂覆聚酰亚胺牺牲层并光刻；e.溅射上极板在聚酰亚胺层上溅射用于电镀的Ti/Au/Ti底金层；f.光刻并腐蚀Ti/Au/Ti底金层，形成腐蚀孔；g.在Ti/Au/Ti底金层电镀金；h.释放牺牲层：形成悬浮的可动膜结构。