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东南大学学位论文独创性声明及使用授权的说明
第一章微电子机械系统和射频微机械开关
1.1微电子机械系统(MEMS)及其应用
1.1.1微电子机械系统的基本定义
1.1.2微电子机械系统发展历程
1.1.3 MEMS技术特征
1.1.4 MEMS的材料与加工技术
1.1.5 MEMS的现状与发展趋势
1.2射频微机械系统和射频微机械开关
1.2.1射频微机械系统
1.2.2射频微机械开关
1.3本篇论文研究的主要工作
第二章射频微机械开关的设计要求和方案
2.1射频开关性能参数的定义
2.2微机械开关的设计要求
2.3微机械开关的设计参数分析
2.3.1微机械开关基本结构形式的选择
2.3.2微机械开关设计参数分析
2.4射频微机械开关的方案设计
2.4.1射频微机械膜开关
2.4.2射频微机械折叠梁开关
2.4.3射频微机械纹膜梁开关
2.4.4射频微机械折合梁开关
2.5本章小结
第三章射频微机械开关仿真和结构设计
3.1射频微机械开关的静态结构设计
3.1.1射频微机械膜开关的力学解析模型
3.1.2射频微机械开关的集总参数模型
3.1.3射频微机械折叠梁开关的梁结构分析
3.1.4射频微机械纹膜梁开关的梁结构设计
3.1.5射频微机械折合梁开关的梁结构设计
3.1.6射频微机械开关抗粘连结构设计
3.2射频微机械开关的动态结构设计
3.2.1微机械开关机械谐振频率的一般表达式
3.2.2微机械膜开关的机械谐振频率表达式
3.3射频微机开关的微波结构设计
3.3.1微机械开关的开、关电容值
3.3.2微机械开关的阻抗匹配模型
3.4射频微机械开关的结构设计
3.5本章小结
第四章射频微机械开关的制作和测试
4.1射频微机械开关的工艺设计
4.1.1微机械开关制作工艺流程设计
4.1.2微机械开关的版图设计
4.2射频微机械开关流水结果
4.3本章小结
第五章展望
5.1本论文工作的主要内容
5.2对进一步研究工作的展望
致谢
参考文献
作者在学习期间所发表的论文
