一种通过静电驱动进行调节的太赫兹带通滤波器

摘要

本发明为一种通过静电驱动进行调节的太赫兹带通滤波器，硅基底有通孔，其上为二维阵列，太赫兹波从二维阵列上方进入，穿过二维阵列得到滤波，从通孔射出。矩形可动框架套在二维阵列外，框架左右连接静电梳齿驱动器的活动梳齿，阵列中同一行的U形结构或胖T形结构连接框架内侧，框架前后端连接折叠弹簧。直流电压驱动静电梳齿驱动器工作，带动可动框架移动，U形结构和胖T形结构发生相对运动，以改变它们的间距，调节控制本带通滤波器的透过率和中心频率，从而显著提高了太赫兹带通滤波器的性能，并拓展其应用范围。