用于在衬底上产生多个空间分离的检验区域的方法、设备及系统

摘要

利用多个照明区域进行的检验包含：产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；沿着第一照明方向传输所述初级照明光束的一部分；利用一或多个角度选择元件使所述初级照明光束的一部分沿着不同于所述第一照明方向的第二照明方向偏转；将所述初级照明光束的所述经传输部分聚焦到衬底的第一检验区域上；及将所述初级照明光束的所述经偏转部分聚焦到所述衬底的与所述第一检验区域空间分离的第二检验区域上。