石英晶体微量天平传感器

摘要

本发明公开了一种石英晶体微量天平传感器，包括传感器装置，所述传感器装置具有晶体基片，在所述晶体基片的前面和背面上相对地放置一对电极，所述QCM传感器根据在所述电极对的其中一个的表面浸没在试料气体或试料溶液中时，主谐振频率的变化或阻抗变化来检测和定量分析试料的成分，所述传感器装置被设置成多通道构造，以便所述电极对彼此相邻地分别地设置在所述晶体基片的前面和背面上，并且每个电极被设置成用以固定对于将被检测且定量分析的试料的每种成分而不同的接收器，其中所述传感器装置的晶体基片在每个所述电极和其在同一表面的相邻电极之间设置一个分离沟，所述分离沟用以降低所述电极和其相邻电极间的振动能耦合。