用于降低装载室腔内的压力的泵吸系统与方法

摘要

本发明涉及一种旨在连接至用于装载和卸载基材(5)的装载室腔(2)的泵吸系统，它至少包括具有第一最大泵吸速度(S1)的第一初级泵单元(9a、9b)和具有第二最大泵吸速度(S2)的第二初级泵单元(10a、10b)，每个初级泵单元(9a、9b、10a、10b)包括单级罗茨真空泵(15)和初级真空泵(13)，该单级罗茨真空泵(15)串联布置并在被抽出的气体的流动方向上位于初级真空泵(13)的上游，所述第一和第二粗抽泵单元(9a、9b、10a、10b)并行布置并设计为同时对用于装载和卸载基材的装载室腔(2)进行泵吸，其特征在于，所述第一初级泵单元(9a、9b)具有不同于所述第二初级泵单元(10a、10b)的泵吸特性，所述第一和第二初级泵单元(9a、9b、10a、10b)的第一和第二最大泵吸速度间的差值大于500m