小型在线径向剪切干涉仪及其测量非球面的方法

摘要

小型在线径向剪切干涉仪及其测量非球面的方法涉及一种光学精密测量仪器及其测量方法，该干涉仪中He-Ne激光器1、空间滤波器2、准直透镜3、平面反射镜4、分光棱镜5、被测非球面透镜6、凸面镜7在一条光路中顺序排列；分光棱镜5、被测非球面镜6、凸面镜7、波带板8、9、滤光片10、可变光阑11、成象透镜12、CCD摄象机13在分光棱镜5分出的另一条光路中顺序排列；其中空间滤波器2、凸面镜7、波带板8、可变光阑11上均设有位移调节机构，以上各部分均设置在同一块底版上。其测量方法步骤为：(1)调节径向剪切干涉仪；(2)处理剪切干涉图象的和重建三维波相差。