光谱仪、光谱仪的波导片的制造方法及其结构

摘要

公开了一种光谱仪、光谱仪的波导片的制造方法及其结构。在制造方法中，利用微机电制造程序使硅晶圆形成至少一个波导片(1)，波导片(1)具有至少一定位侧边(12)以及至少一杂光散逸侧边(13)。光谱仪组件(31)可精确定位于定位侧边(12)，减少光谱仪组件间于抵靠波导片时存在的错位现象，且杂光经由杂光散逸侧边(13)而离开，减少噪音误差，可提升光谱仪的感度和解析度。