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一种基于化学反应确定材料脉冲激光刻蚀量的方法

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一种基于化学反应确定材料脉冲激光刻蚀量的方法，对于热分解温度时化学反应速度大于8×10

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公开/公告号CN105436735B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-18

原文格式PDF
申请/专利权人西安交通大学;
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申请/专利号CN201510925900.1
发明设计人王文君;潘爱飞;梅雪松;崔健磊;王恪典;孙学峰;
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申请日2015-12-11
分类号
代理机构西安智大知识产权代理事务所;
代理人贺建斌
地址 710049 陕西省西安市咸宁路28号
入库时间 2022-08-23 10:11:51

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-05-18

授权

授权
2016-04-27

实质审查的生效 IPC(主分类):B23K31/12 申请日:20151211

实质审查的生效
2016-03-30

公开

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