公开/公告号CN104616612B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 上海和辉光电有限公司;
申请/专利号CN201510088684.X
申请日2015-02-26
分类号G09G3/00(20060101);G09G3/3225(20160101);
代理机构11438 北京律智知识产权代理有限公司;
代理人姜怡;阚梓瑄
地址 201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
入库时间 2022-08-23 10:11:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-21
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G09G3/00 变更前: 变更后: 申请日:20150226
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2018-05-25
授权
授权
2015-06-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G09G3/00 申请日:20150226
实质审查的生效
2015-05-13
公开
公开
机译: 灰阶掩模的缺陷测试方法和装置以及光掩模的缺陷测试方法和装置
机译: 格雷蒙德及其装置的缺陷的测试方法,以及光掩模及其装置的缺陷的测试方法
机译: 格雷蒙德及其装置的缺陷的测试方法,以及光掩模及其装置的缺陷的测试方法