用于地震应用的MEMS基旋转传感器及具有其的传感器单元

摘要

本发明涉及一种用于在地震数据采集中使用的MEMS基旋转传感器以及具有该MEMS基旋转传感器的传感器单元。该MEMS基旋转传感器包括基板、设于基板上的锚以及通过多个挠性弹簧联接于该锚的检测质量。检测质量具有联接到其并从其延伸的第一电极。第二电极被固定到基板上，并且第一和第二电极中的一个被配置为接收致动信号，第一和第二电极中的另一个被配置为产生具有与第一电极相对于第二电极的角运动程度相对应的幅值的电信号。MEMS基旋转传感器进一步包括被配置为接收该电信号并提供所述致动信号的闭环电路。还描述了用于在地震数据采集中使用MEMS基旋转传感器的相关方法。