具有主动冷却型格栅的气体分配装置

摘要

本发明涉及具有主动冷却型格栅的气体分配装置。用于衬底处理系统的格栅组件包括第一部分，该第一部分包括：第一主体，其限定中心开口；入口；出口；以及上歧管，其位于第一主体中，并且，与入口或出口流体连通。第二部分布置成与第一部分相邻，并且，包括限定中心开口的第二主体。多个管布置于第二主体的中心开口中。多个管中的第一管与上歧管流体连通。下歧管位于第二主体中，并且，与入口或出口中的另一个流体连通。多个管中的第二管与下歧管流体连通。格栅组件布置在远程等离子体源与衬底之间。