含倍半萜的成膜树脂及其正性浸没式曝光193nm光刻胶

摘要

本发明公开一种含倍半萜的成膜树脂及其浸没式曝光193nm正性光刻胶，其成膜树脂的分子量为4,000～5,000,000，分子量分布为1.4～2.4；共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物：含天然产物倍半萜的组成单元10%～60%；含酸敏基团单体5%～40%；具有疏水性能基团的单体2%~40%；其它性能调节组分单体1%~20%；含倍半萜单元是指符合化学通式（