用于洁净室的包括下游过滤器的新鲜空气管道

摘要

配置新鲜空气管道以使空调系统过滤的新鲜空气从新鲜空气管道流入洁净室，新鲜空气具有第一颗粒浓度。对位于空调系统下游而位于洁净室上游的新鲜空气管道上的单独颗粒过滤器进行配置，以进一步过滤新鲜空气，从而提供具有第二颗粒浓度的过滤的新鲜空气，第二颗粒浓度低于第一颗粒浓度。而且还披露了有关方法。