洁净室化学过滤器的选型及使用效果研究

摘要

随着半导体工业的飞速发展,最小线宽的尺寸越来越小,进入纳米级时代,从而相应的对洁净室环境的控制越加严格。洁净室环境内的悬浮气态分子污染物AMC(Airborne Molecular Contaminants)在生产过程中对良率会产生影响,因此对AMC进行控制是十分必要的。在洁净室进风箱或风机过滤单元FFU(Fan Filter Unit)进风端安装化学过滤器可以较好的解决洁净室内AMC的困扰。本文介绍了洁净室内化学过滤器的选型介绍及使用案例。