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公开/公告号CN105633040B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-04-27
原文格式PDF
申请/专利权人 西安理工大学;
申请/专利号CN201610112002.9
发明设计人 王凤娟;王刚;余宁梅;
申请日2016-02-29
分类号H01L23/48(20060101);H01L21/768(20060101);
代理机构61214 西安弘理专利事务所;
代理人李娜
地址 710048 陕西省西安市金花南路5号
入库时间 2022-08-23 10:10:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-27
授权
2016-06-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/48 申请日:20160229
实质审查的生效
2016-06-01
公开
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