利用光学邻近效应修正多边形光罩特征图案的方法

摘要

本发明是提供一种光罩图案区块的方式，且不需使用外加的饰线以修正具有内角多边形的光罩特征图案，使得具有至少一个内角的特征图案可以得到有效的光学邻近效应修正且不会有任何外加的数据点增加。因此，可以取代传统的利用饰线作为光学邻近效应修正的方式，进一步地可以获得有效的光学邻近效应修正。此外，对于规则的光罩写入单位，当未修正的光罩特征图案经分割形成数个形状为矩形或是不规则四边形光罩写入单位时，可以改善光罩写入的时间，并且在分割的光罩写入单位中没有内角的存在。另外，当使用简单的几何图形时，可以简化图案检查并且使得校正步骤较为容易。