一种高压高频源驱动的DBD等离子体放电装置

摘要

本发明涉及一种高压高频源驱动的DBD等离子体放电装置，包括高压电源、地电极、支架、进气管、多个放电管和高压电极，高压电源包括驱动电路、辅助电源以及依次电连接的整流电路、逆变电路和变压器，驱动电路与逆变电路电连接，辅助电源给驱动电路供电，支架包括中空的筒体、依次间隔设于筒体内且与筒体密封连接的第一支板、第二支板、第三支板，进气管穿过第三支板、第二支板，放电管包括同心圆式的外石英管和内石英管，外石英管的一端穿过第一支板，进气管与外石英管连通，内石英管的一端穿过第二支板，高压电极包括极板、与极板连接的多个铜棒，极板与变压器的输出端相连接，铜棒穿过第三支板插入内石英管内。本发明放电效率高、稳定、均匀。