高频放电等离子体处理及测试实验装置研制

摘要

介绍了自行研制的高频放电等离子体处理及测试实验装置。该装置可用于高频等离子体对固体材料表面处理及处理过程的动态测试，其中包括等离子体参数测试、质谱分析、FTIR测试和ESR测试。