利用碳纳米管设计的非挥发性随机存储器及制备方法

摘要

本发明公开了一种利用碳纳米管制备的非挥发性随机存储器及制备方法，包括上下两层碳纳米管构成的阵列，每一层碳纳米管是一组平行的单壁碳纳米管，上下两层的碳纳米管之间相互垂直但不发生接触，两层碳纳米管的每个交叉结点构成存储器的一个存储单元。本发明公开了在制备该存储器的过程中各重要参数的取值原则和器件具有最优存储特性时的工作条件，解决了传统存储器在高密度集成中所遇到散热、功耗和稳定性等方面的问题。