具有碳纳米管结构的非挥发性随机存储器

摘要

本实用新型涉及一种具有碳纳米管结构的非挥发性随机存储器，该存储器包括在衬底上有上下两层的碳纳米管阵列，每一层碳纳米管是一组有n根平行设置的碳纳米管，上下两层的碳纳米管之间相互垂直并彼此分离，两层碳纳米管的每个交叉结点构成存储器的一个存储单元。本实用新型公开了在制备该存储器的过程中各重要参数的取值原则和器件具有最优存储特性时的工作条件，解决了传统存储器在高密度集成中所遇到散热、功耗和稳定性等方面的问题。