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3D激光消融层析成像和光谱分析

摘要

一种激光消融层析成像系统包括用于支承样品的样品台。样品轴线被界定以使大致安置在所述轴线上的样品可进行成像。激光系统可操作以用于在与样品轴线相交并总体垂直的平面内产生激光片光。成像系统可操作以用于对激光片光与样品轴线相交处的区域进行成像。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-04-03

    授权

    授权

  • 2015-11-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N1/44 申请日:20131030

    实质审查的生效

  • 2015-09-30

    公开

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