一种基于光谱色散全场的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统

摘要

本发明公开了一种基于光谱色散全场的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统，属于光学测量领域。所述系统由宽带光源，隔离器，光纤及光纤接头，球面及柱面透镜，分光镜，直角棱镜，光阑，光栅，反射镜，面阵探测器，光电探测器，法布里‑珀罗滤波器，压电陶瓷，信号处理，反馈控制，数据采集卡，计算机，平移台及平移台驱动，结果输出等组成。光栅将宽带光谱色散成波长在横向连续分布的光片，经扩束垂直入射到被测表面进行全场测量；利用两种波长测量具有高度差大于半波长的台阶及大深宽比沟槽的表面；利用法布里‑珀罗滤波器实现超横向分辨率测量；反馈控制补偿环境干扰使系统适合在线测量，测量结果准确溯源到波长基准，不受光源光谱漂移影响。