公开/公告号CN105161393B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-27
原文格式PDF
申请/专利权人 卡尔蔡司显微镜有限责任公司;应用材料以色列公司;
申请/专利号CN201510512550.6
申请日2004-09-07
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人李辉
地址 德国耶拿
入库时间 2022-08-23 10:09:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-27
授权
授权
2017-05-17
著录事项变更 IPC(主分类):H01J37/09 变更前: 变更后: 申请日:20040907
著录事项变更
2016-12-14
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01J37/09 登记生效日:20161121 变更前: 变更后: 申请日:20040907
专利申请权、专利权的转移
2016-02-03
著录事项变更 IPC(主分类):H01J37/09 变更前: 变更后: 申请日:20040907
著录事项变更
2016-01-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/09 申请日:20040907
实质审查的生效
2015-12-16
公开
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机译: 电子束源,包括电子束源的电子光学设备以及操作电子束源的方法
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