氧化物微纳米结构有序多孔阵列的氧等离子体辐照制备方法

摘要

本发明公开了氧化物微纳米结构有序多孔阵列的氧等离子体辐照制备方法。包括二维胶体晶体模板法和等离子体辐照法，具体步骤为：用气/液界面组装法合成单层的二维胶体晶体模板，二维胶体晶体模板由单种直径为200nm‑2000nm微球构成，特别是将模板转移并漂浮至0.02‑0.2mol/L的前驱体溶液表面，将浸有溶液的模板捞起置于80‑120ºC烘箱中加热15‑30分钟，随后在等离子体清洗机中氧气气氛中辐照10‑60min，等离子体功率为5.8‑18W。此方法没有使用任何贵重的专用仪器和表面修饰剂，制备工艺简单快速、成本低、效率高、安全环保，可以广泛用于光子晶体、微/纳米加工、催化、表面增强拉曼散射、传感等领域。