公开/公告号CN104900498B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-06
原文格式PDF
申请/专利权人 格罗方德半导体公司;
申请/专利号CN201510100557.7
申请日2015-03-06
分类号H01L21/265(20060101);H01L21/336(20060101);
代理机构11314 北京戈程知识产权代理有限公司;
代理人程伟;王锦阳
地址 英属开曼群岛大开曼岛
入库时间 2022-08-23 10:08:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-06
授权
授权
2015-10-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/265 申请日:20150306
实质审查的生效
2015-09-09
公开
公开
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