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一种应用于晶体管的高速三维电学特性测试系统

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本发明公开了一种应用于晶体管的高速三维电学特性测试系统，该系统包括数据反馈与处理器、波形处理器、宽频带拾捡三通装置、第一微波探针和第二微波探针。本发明的创新在于通过给晶体管的漏极施加阶梯变化的电压波形，并在每个阶梯电平中给晶体管的栅极施加一个脉冲电压信号，来进行一次晶体管转移特性测试，从而在100nS内测出晶体管的三维电学特性(I

著录项

公开/公告号CN106646174B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-16

原文格式PDF
申请/专利权人浙江大学;
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申请/专利号CN201610872855.2
发明设计人赵毅;曲益明;陈冰;卢继武;韩菁慧;
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申请日2016-09-30
分类号
代理机构杭州求是专利事务所有限公司;
代理人刘静
地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
入库时间 2022-08-23 10:08:12

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-03-16

授权

授权
2017-06-06

实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/26 申请日:20160930

实质审查的生效
2017-05-10

公开

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