冷阱及冷阱的控制方法

摘要

本发明提供一种能够适当地冷却冷板的冷阱及冷阱的控制方法。冷阱(14)具备：冷板；制冷机(24)，冷却冷板；冷却台温度控制部(110)，确定对制冷机(24)的控制输入，以使制冷机(24)的制冷机冷却台冷却至目标温度；热输入推断部(112)，从通过冷却台温度控制部(110)确定的对制冷机(24)的控制输入推断出向冷板的热输入增加；以及目标温度调整部(114)，根据通过热输入推断部(112)推断出的热输入増加来调整目标温度。