一种非化学计量比氧化铌多晶镀膜材料及其生长技术

摘要

本发明涉及一种非化学计量比氧化铌多晶镀膜材料及其生长方法，一种非化学计量比氧化铌多晶镀膜材料的化学组成为Nb₂O_5‑x，其中x＝0.1‑0.5。将原料Nb₂O₅、Nb按Nb₂O_5‑x化学组成配料，混合均匀，在等静压下压制成块；将压块料装入坩埚中，坩埚转移至高温下降炉内，升温，抽真空，当炉温达到900‑1100℃时充入惰性保护气体，继续升温至设定温度；保温3‑6小时，使原料熔化充分，晶体生长的固液界面处温度梯度设定为20‑60℃/cm，坩埚下降速率控制在30‑80mm/h范围内；晶体生长结束后，调节坩埚位置，保温3‑6h，以80‑150℃/h的速度降至室温。本发明的非化学计量比氧化铌多晶镀膜材料的生长方法，氧化铌晶体经过熔化，密度更大，结构均匀，结晶性更好。