公开/公告号CN105591028B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-02-06
原文格式PDF
申请/专利权人 山东科技大学;
申请/专利号CN201610039902.5
申请日2016-01-21
分类号H01L45/00(20060101);G11C13/00(20060101);C23C14/35(20060101);B82Y10/00(20110101);
代理机构37205 济南舜源专利事务所有限公司;
代理人毛胜昔
地址 266590 山东省青岛市经济技术开发区前湾港路579号
入库时间 2022-08-23 10:07:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-06
授权
授权
2016-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L45/00 申请日:20160121
实质审查的生效
2016-05-18
公开
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