利用MEMS电阻开关和MIM电容器的DVC

摘要

本发明一般性地涉及利用一个或更多个MIM电容器的MEMS DVC。MIM电容器可以被布置在MEMS器件和RF垫之间或者MIM电容器可以被集成到MEMS器件本身中。MIM电容器确保实现MEMS DVC的低电阻。