一种具有电场集中效果增强开态电流的隧穿场效应晶体管

摘要

本发明提出了一种具有电场集中效果增强开态电流的隧穿场效应晶体管，属于半导体器件领域。本发明具有电场集中效果增强开态电流的隧穿场效应晶体管包括半导体衬底1、源区2、本征区3、漏区4、栅氧层5、金属栅6、侧墙9，还包括位于本征区内的介质块10，所述介质块10设置在本征区与源区的交界面上，所述介质块可改变隧穿结位置的电场分布，使隧穿结处电场线更集中，从而提升开态电流。