用于减小磁存储器元件接触部的尺寸和中心定位的方法

摘要

一种在磁存储器件的层上使接触部居中的方法。在一个实施例中，在包围上层的开口中形成间隔物，并在间隔物内形成接触部。间隔物由各向异性蚀刻的共形层形成，所述共形层沉积在上表面上并沉积到开口中。