用于相对于工件定位工具的装置

摘要

本发明涉及一种用于相对于工件定位工具的装置，具有用于容纳工件的能运动的工作台，其中在加工工件期间该工作台在两个主运动方向上运动，还具有一个或者多个平面的量具，其位置固定地围绕工具布置并且沿主运动方向的平面扩展，还具有用于检测工作台相对于量具的位置的探针头，其安装在工作台的至少三个角中，其中利用探针头能在六个自由度上确定工作台的位置。在角中的至少一个之内，存在一个或者多个具有总共至少三个测量轴线的、用于在三个独立的空间方向上进行3D位置检测探针头。在此测量轴线的灵敏度矢量为了3D位置检测既不平行于XZ平面也不平行于YZ平面。以这种方式，当在主运动方向上运动工作台时，所有的测量轴线都提供周期性的信号。