一种工艺潜在缺陷的检测参数及缺陷判据确定方法

摘要

本发明涉及一种工艺潜在缺陷的检测参数及缺陷判据确定方法，步骤如下：步骤1：产品制造过程工艺分析；步骤2：工艺潜在缺陷及原因分析；步骤3：工艺潜在缺陷表征参数的确定；步骤4：工艺潜在缺陷影响关系模型的建立；步骤5：工艺检测参数及缺陷判据的确定。本方法基于工艺潜在缺陷影响关系模型，确定产品制造过程中工艺潜在缺陷的检测参数及缺陷判据，避免制造过程参数检测的盲目性。