确定实际缺陷是潜在系统性缺陷还是潜在随机缺陷的计算机实现的方法

摘要

提供了确定实际缺陷是潜在系统性缺陷还是潜在随机缺陷的各种计算机实现的方法。一种确定实际缺陷是潜在系统性缺陷还是潜在随机缺陷的计算机实现的方法包括：比较组中的实际缺陷的数目与组中的随机产生缺陷的数目。所述实际缺陷是在晶片上检测到的。该晶片上与该组中的每一个所述实际缺陷以及该组中的每一个所述随机产生缺陷的位置接近的设计的部分是实质上相同的。该方法还包括基于比较步骤的结果确定该组中的所述实际缺陷是潜在系统性缺陷还是潜在随机缺陷。