公开/公告号CN105719932B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-02
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201610101378.X
申请日2011-06-22
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人樊英如
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:05:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-02
授权
授权
2016-07-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20110622
实质审查的生效
2016-06-29
公开
公开
机译: /用于中性/离子通量控制的双等离子体积处理装置
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