公开/公告号CN105590829B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-02
原文格式PDF
申请/专利权人 萨默费尼根有限公司;
申请/专利号CN201510750580.0
申请日2015-11-06
分类号H01J49/10(20060101);H01J49/26(20060101);G01N27/62(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人姬利永
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:05:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-02
授权
授权
2016-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J49/10 申请日:20151106
实质审查的生效
2016-05-18
公开
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