电子显微镜装置及使用该电子显微镜装置的拍摄方法

摘要

为了能够高速地拍摄关注区域是高画质、并且其以外的区域也是足够观察的画质的宽视野图像，在使用电子显微镜装置的拍摄方法中，向试料的宽视野区域以低剂量照射聚束的电子束并扫描而取得试料的宽视野图像；从该宽视野图像中设定包含在宽视野区域的内部中的较窄的视野的窄视野区域；向该窄视野区域以高剂量照射聚束的电子束并扫描而取得试料的窄视野图像；根据每像素的剂量决定所取得的宽视野图像和窄视野图像的噪声除去参数，基于该噪声除去参数进行宽视野图像和窄视野图像的画质改善处理；使用实施该画质改善处理后的宽视野图像对实施画质改善处理后的窄视野图像进行漂移修正；将进行该漂移修正后的窄视野图像和宽视野图像进行合成，以使合成图像的全部区域中的辨识性为相同程度。