一种制备纳米钴薄膜包覆铜颗粒复合颗粒膜的方法

摘要

一种制备纳米钴薄膜包覆铜颗粒复合颗粒膜的方法，首先在单晶硅基体上沉积Cu‑Zr合金膜，然后在一定条件下退火，从而在单晶硅基体表面制备出ZrSi_x/Cu颗粒复合结构，然后在制备的ZrSi_x/Cu颗粒复合结构的表面沉积一层纳米Co薄膜即制得产品。本发明在单晶硅基体上制备Cu‑Zr合金薄膜，然后在一定条件下对薄膜样品进行退火，Zr的加入与保护气氛共同抑制了Cu与Si之间的扩散反应，在膜基界面形成一薄层ZrSi_x阻挡层，实现了无需模板在单晶硅基体表面制备出ZrSi_x/Cu颗粒复合结构，进而在其表面溅射沉积纳米钴薄膜就获得了大比表面积、高性能纳米钴薄膜包覆铜颗粒复合结构材料。