声明
1 绪 论
1.1 前言
1.2 半导体气敏传感器
1.2.1半导体气敏传感器的发展
1.2.2 半导体气敏传感器的机理、分类和性能评价
1.2.3 半导体气敏传感器的特点
1.3 金属氧化物半导体气敏传感器的研究现状
1.4 金属氧化物半导体气敏传感器的性能改进
1.4.1 掺杂与修饰
1.4.2 MOFs材料组装
1.5 选题意义及研究内容
2 实验材料、装置与方法
2.1 试剂与仪器
2.1.1 原材料与试剂
2.1.2 主要实验仪器
2.1.3 氧化铝基金叉指电极板
2.2 材料表征方法
（3）场发射透电子显微镜 (Field Emission Transmission Electron Microscopy
2.3 气敏性能表征
2.3.1 气敏性能测试条件
2.3.2 气敏性能评价指标
2.3.3 气敏性能测试设备
2.3.4 气敏性能测试方法
3 氧化锌纳米颗粒膜气敏传感器的制备及性能测试
3.1 引言
3.2 氧化锌纳米颗粒膜传感器的制备
3.2.1丝网印刷浆料的制备
3.2.2 丝网印刷制作氧化锌纳米颗粒膜传感器
3.3 氧化锌纳米颗粒膜传感器的表征
3.3.1 XRD表征
3.3.2 FESEM表征
3.3.3 FETEM表征
3.4 氧化锌纳米颗粒膜气敏传感器的气敏性能研究
3.4.1 传感器气敏机理概述
3.4.2 传感器的气敏性能测试
3.5 本章小结
4 ZIF-71修饰氧化锌纳米颗粒膜气敏传感器的制备及性能测试
4.1 引言
4.2 ZnO@ZIF-71纳米颗粒膜气敏传感器的制备
4.3 ZnO@ZIF-71纳米颗粒膜气敏传感器的表征
4.3.1 XRD表征
4.3.2 FESEM表征
4.3.3 FETEM及FETEM-EDS表征
4.4 ZnO@ZIF-71纳米颗粒膜传感器的气敏性能测试
4.5 ZnO@ZIF-71纳米颗粒膜传感器的气敏机理分析
4.5.1 ZnO@ZIF-71纳米颗粒膜传感器的敏感性机理分析
4.5.2 ZnO@ZIF-71纳米颗粒膜传感器的选择性机理分析
4.6 本章小结
5 全文总结与展望
5.1 全文总结
5.2 本文的创新之处
5.3 工作展望
致谢
参考文献
附录1 攻读硕士期间撰写与发表的论文
