气敏薄膜传感器SnO2：Sb的制备及性能研究

摘要

利用等离子体化学气相沉积制备了ＳｎＯ２：Ｓｂ导电薄膜。研究了膜电阻与沉积温度、电极间距及掺杂浓度间依存关系和薄膜阻温特性。测试了薄膜对ＮＯ２气体的气敏性，并进行了理论分析。