一种M2型单晶硅放肩方法

摘要

本发明公开了一种M2型单晶硅放肩方法，涉及单晶硅生产技术领域,在引细颈工艺完成后，籽晶拉速降低，温控器加热功率由额定功率分步逐降，依次经过五次降温步骤后，完成放肩工艺过程，硅棒直径达规定尺寸即可进入下一个工序转肩。通过上述工艺方法完成的放肩工序，放肩由原来需要210分钟‑240分钟才能完成缩短为120min‑150min内完成，可节省90分钟时间，同时也提高了成功率，成功率可提高40‑45%。本发明具有操作简单方便的优点，可有效缩短单晶硅棒放肩时间，提高单晶硅棒生产效率及成功率，便于推广应用。