公开/公告号CN1278358C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-10-04
原文格式PDF
申请/专利权人 三星SDI株式会社;
申请/专利号CN01117206.1
申请日2001-04-24
分类号H01J17/49(20060101);H01J9/00(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人陈霁;叶恺东
地址 韩国京畿道
入库时间 2022-08-23 08:58:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-06-10
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 17/49 授权公告日:20061004 终止日期:20140424 申请日:20010424
专利权的终止
2006-10-04
授权
授权
2003-03-05
实质审查的生效
实质审查的生效
2001-11-07
公开
公开
机译: 用于制造等离子体显示面板的工艺腔室,使用该过程腔室的方法以及通过该制造方法制造等离子体显示屏的方法
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