用于半导体制造设施的访问仲裁系统以及用于使用和操作该系统的方法

摘要

访问仲裁模块包括用于与多个有源组件进行通信的多个有源组件通信端口，并且包括用于与无源组件进行通信的无源组件通信端口。访问仲裁模块还包括切换逻辑，所述切换逻辑被定义为控制所述多个有源组件通信端口中的每一个与所述无源组件通信端口之间的访问通信协议信号的传送，使得所述多个有源组件通信端口中的被授权的那个在给定时间与无源组件通信端口通信地连接，并且使得防止所述多个有源组件通信端口中的未被授权的那些在给定时间与无源组件通信端口进行通信。